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plqIMR新虫 (正式写手)
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[交流]
四（二甲）氨基锆+H2O ALD法合成氧化锆薄膜技术问题
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| 各位虫友 本人在做ALD合成氧化锆薄膜 但是基本不成膜 光学显微镜下观察到的全是颗粒 不知什么原因 求高人指点 我们用的设备是savannah S100,recipe是Cambridge Nanotech 公司提供的，recipe我附在附件上了 哪位大神帮我看看到底是哪里出了问题谢谢 |
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2014-08-26 09:55:23, 160.42 K
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