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plqIMR

新虫 (正式写手)

[交流] 四(二甲)氨基锆+H2O ALD法合成氧化锆薄膜技术问题

各位虫友  本人在做ALD合成氧化锆薄膜  但是基本不成膜  光学显微镜下观察到的全是颗粒   不知什么原因   求高人指点  我们用的设备是savannah S100,recipe是Cambridge Nanotech 公司提供的,recipe我附在附件上了  哪位大神帮我看看到底是哪里出了问题谢谢
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  • 2014-08-26 09:55:23, 160.42 K

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2楼2014-08-26 10:22:34
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3楼2014-08-26 10:28:33
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4楼2014-08-26 10:31:23
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5楼2014-08-26 10:33:53
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6楼2014-08-26 10:55:29
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