| 查看: 6679 | 回复: 127 | |||||||||
| 【奖励】 本帖被评价102次，作者bazhuayuyu增加金币 79.6 个 | |||||||||
[资源]
分享一篇27页的Al2O3薄膜综述
|
|||||||||
|
Status and prospects of Al2O3-based surface passivation schemes G. Dingemans and W. M. M. Kessels Department of Applied Physics, Eindhoven University of Technology 主要讲述氧化铝薄膜应用于太阳能电池表面钝化，介绍十分全面，涉及了多种薄膜沉积技术，对介电膜在其他方面的应用也有一定指导意义 The reduction in electronic recombination losses by the passivation of silicon surfaces is a critical enabler for high-efficiency solar cells. In 2006, aluminum oxide (Al2O3) nanolayers synthesized by atomic layer deposition (ALD) emerged as a novel solution for the passivation of p- and n-type crystalline Si (c-Si) surfaces. Today, high efficiencies have been realized by the implementation of ultrathin Al2O3 films in laboratory-type and industrial solar cells. This article reviews and summarizes recent work concerning Al2O3 thin films in the context of Si photovoltaics. Topics range from fundamental aspects related to material, interface, and passivation properties to synthesis methods and the implementation of the films in solar cells. Al2O3 uniquely features a combination of field-effect passivation by negative fixed charges, a low interface defect density, an adequate stability during processing, and the ability to use ultrathin films down to a few nanometers in thickness. Although various methods can be used to synthesize Al2O3, this review focuses on ALD—a new technology in the field of c-Si photovoltaics. The authors discuss how the unique features of ALD can be exploited for interface engineering and tailoring the properties of nanolayer surface passivation schemes while also addressing its compatibility with high-throughput manufacturing. The recent progress achieved in the field of surface passivation allows for higher efficiencies of industrial solar cells, which is critical for realizing lower-cost solar electricity in the near future I. INTRODUCTION II. SURFACE PASSIVATION: BASICS AND APPLICATIONS A. Surface passivation mechanisms B. Surface passivation materials 1. SiO2 2. a-SiNx:H 3. a-Si:H C. Surface passivation in high-efficiency solar cells III. Al2O3 PROPERTIES AND SYNTHESIS TECHNIQUES A. Synthesis methods 1. Atomic layer deposition 2. PECVD 3. Other synthesis methods B. Material and interface properties of Al2O3 on Si IV. ATOMIC LAYER DEPOSITION OF Al2O3 A. Surface chemistry B. ALD process parameters C. Substrate temperature V. SURFACE PASSIVATION BYAl2O3 A. Passivation performance B. Effect of annealing on chemical and field-effect passivation C. Effect of film thickness D. Fundamental mechanisms 1. Defect passivation 2. Negative charge formation VI. IMPLEMENTATION IN SOLAR CELLS A. Stability 1. UV stability 2. Firing stability B. Surface passivation stacks 1. Al2O3/a-SiNx stacks 2. SiO2/Al2O3 stacks C. Industrial-scale ALD 1. Batch ALD 2. Spatial ALD 3. ALD or PECVD? D. Alternative precursors 1. Solar grade TMA 2. DMAI VII. SOLAR CELLS FEATURING Al2O3 A. p-type Si cells B. n-type Si cells VIII. CONCLUDING REMARKS ACKNOWLEDGMENTS 有做电池钝化的朋友也可以进来聊聊[ Last edited by bazhuayuyu on 2012-9-22 at 12:03 ] |
回复此楼» 本帖附件资源列表
-
欢迎监督和反馈：小木虫仅提供交流平台，不对该内容负责。
本内容由用户自主发布，如果其内容涉及到知识产权问题，其责任在于用户本人，如对版权有异议，请联系邮箱：xiaomuchong@tal.com - 附件 1 : Dingemans_JVSTAreviewofAl2O3passivation.pdf
2012-09-21 15:43:43, 2.68 M
» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 晶体制备及测试 | 数据处理 | 薄膜 | 薄膜工艺 |
| 杂七杂八 | 文集 | 收集的 |
» 猜你喜欢
有多少人是今天查系统知道结果的？
已经有17人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有4人回复
-
基金不中，共勉
已经有5人回复
-
看板上这么多中的，有点像50人群里49个人都是骗子的那种感觉……
已经有3人回复
-
国自然面上复盘~欢迎讨论
已经有5人回复
-
我不理解！
已经有23人回复
-
2026年的国家社科基金项目通讯评审的新规则与新动向、新挑战
已经有10人回复
-
系统查不到
已经有10人回复
-
怎么查啊
已经有5人回复
-
范进中举一文的中心思想
已经有10人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 分享最新《Science》一篇：疏水Al2O3担载Pd@CeO2核壳纳米复合物-甲烷氧化的超级催化剂
已经有163人回复
- 分享一篇综述：MEMS用含能薄膜研究现状及进展
已经有14人回复
- sol-gel制备Al2O3薄膜
已经有9人回复
- 关于原子层沉积薄膜生长模式的一篇综述
已经有18人回复
3楼2012-09-24 21:46:22
7楼2012-12-16 21:02:33
9楼2013-03-06 21:38:51
10楼2013-04-19 10:06:41
11楼2013-04-22 11:19:47
16楼2013-04-25 00:47:43
34楼2014-01-02 16:50:37
37楼2014-01-09 03:08:01
49楼2014-03-20 19:26:18
简单回复
h900207r2楼
2012-09-22 19:49
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
2012-10-05 14:52
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
2012-10-11 15:02
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
h900207r6楼
2012-12-16 21:02
回复
顶一下，感谢分享！
太阳草8楼
2013-02-21 17:49
回复
三星好评 顶一下，感谢分享！
jumei120312楼
2013-04-23 19:54
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
huihui31513楼
2013-04-23 19:56
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
3786378614楼
2013-04-23 21:03
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
azurefir15楼
2013-04-24 11:24
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
3786378617楼
2013-05-07 21:44
回复
顶一下，感谢分享！
fire2hell18楼
2013-05-08 10:12
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
diyzxl19楼
2013-05-09 11:09
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
yyyuyujj20楼
2013-05-30 10:25
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
huihui31521楼
2013-05-30 19:01
回复
顶一下，感谢分享！
cxhorsean22楼
2013-06-07 07:13
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
逍遥帅y23楼
2013-06-09 14:55
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
09012132624楼
2013-08-02 15:08
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
huihui31525楼
2013-08-02 23:11
回复
顶一下，感谢分享！
jinpengfei26楼
2013-08-10 18:13
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
feymanpzh27楼
2013-08-10 23:22
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
fengjy62828楼
2013-08-23 22:04
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
xuehuizhang29楼
2013-08-24 14:13
回复
三星好评 顶一下，感谢分享！
wood365830楼
2013-08-29 09:47
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
taotao7431楼
2013-08-30 16:16
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
pylmse32楼
2013-12-18 10:17
回复
三星好评 顶一下，感谢分享！
shmilyztfxx33楼
2014-01-02 16:49
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
guorui201035楼
2014-01-08 09:54
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
hittang36楼
2014-01-08 20:02
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
lxtiger38楼
2014-01-10 11:01
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
lyy07022839楼
2014-01-12 16:49
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
fegnzaixie40楼
2014-01-13 21:25
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
南峰41楼
2014-01-15 16:26
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
liaofang2042楼
2014-01-17 11:05
回复
三星好评 顶一下，感谢分享！
zhangtieha43楼
2014-02-12 14:01
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
51zhuce44楼
2014-02-12 17:45
回复
顶一下，感谢分享！
hustfeble45楼
2014-02-19 17:30
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
cfx1985052846楼
2014-03-14 19:00
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
taiyangdiule47楼
2014-03-20 14:04
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
珊大王3348楼
2014-03-20 16:03
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
小团子打后腰50楼
2014-04-01 15:40
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
投票:
