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lianqi_1210

铜虫 (初入文坛)

[求助] ALD制备薄膜问题 已有1人参与

各位虫友，有没有做ALD的？本人刚刚开始用ALD制备薄膜，源以及制备温度都是参考文献做的，但是基片上一直没有镀上膜。在想会不会是基片预处理的问题。
预处理过程：先用丙酮洗，再用NaOH+双氧水。
各位有没有相关的经验，求教啊！！！
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1楼 2014-10-24 13:36:12
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lianqi_1210

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wbcui at 2014-10-24 15:46:24
楼主
你的设备哪里买的？

你用的什么基片啊？

设备是芬兰的，基片试过硅片和玻片，上面都没有膜。。。
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5楼2014-10-26 14:57:03
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
楼主
你的设备哪里买的？

你用的什么基片啊？
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2楼2014-10-24 15:46:24
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巴巴罗萨

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lianqi_1210: 金币+5, ★有帮助 2014-10-26 14:56:04
基片怎么洗的没有很大关系吧？
会不会是源没有到基片上，确定一下基片托盘的位置有没有膜？腔体内其它地方有没有膜？如果腔体内有些地方有膜而基片上没有，就是反应条件应该没有问题，只是设备原因反应源没有覆盖到基片上
如果整个腔体都没有膜，就检查下实验条件的设置有可能有问题了，当然也可能设备有问题而完全不反应生成膜
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3楼2014-10-25 22:13:42
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lianqi_1210

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 巴巴罗萨 at 2014-10-25 22:13:42
基片怎么洗的没有很大关系吧？
会不会是源没有到基片上，确定一下基片托盘的位置有没有膜？腔体内其它地方有没有膜？如果腔体内有些地方有膜而基片上没有，就是反应条件应该没有问题，只是设备原因反应源没有覆盖到 ...

设备应该没问题，别的膜可以镀上去，我的膜做出来是透明的，就算镀在腔体上也看不出来。我的反应温度这些也都是参照文献的。不是说基片要羟基化，源才能有效的吸附在基片上么？
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4楼2014-10-26 14:54:45
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