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lianqi_1210

铜虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
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专业: 应用有机化学

[求助] ALD制备薄膜问题已有1人参与

各位虫友，有没有做ALD的？本人刚刚开始用ALD制备薄膜，源以及制备温度都是参考文献做的，但是基片上一直没有镀上膜。在想会不会是基片预处理的问题。
预处理过程：先用丙酮洗，再用NaOH+双氧水。
各位有没有相关的经验，求教啊！！！

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1楼2014-10-24 13:36:12

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巴巴罗萨

铁虫 (小有名气)

应助: 36 (小学生)
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注册: 2003-06-07
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专业: 半导体光电子器件

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
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lianqi_1210: 金币+5, ★有帮助 2014-10-26 14:56:04

基片怎么洗的没有很大关系吧？
会不会是源没有到基片上，确定一下基片托盘的位置有没有膜？腔体内其它地方有没有膜？如果腔体内有些地方有膜而基片上没有，就是反应条件应该没有问题，只是设备原因反应源没有覆盖到基片上
如果整个腔体都没有膜，就检查下实验条件的设置有可能有问题了，当然也可能设备有问题而完全不反应生成膜

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3楼2014-10-25 22:13:42

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lianqi_1210

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