24小时热门版块排行榜    

查看: 2839  |  回复: 7
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

lianqi_1210

铜虫 (初入文坛)

[求助] ALD制备薄膜问题 已有1人参与

各位虫友,有没有做ALD的?本人刚刚开始用ALD制备薄膜,源以及制备温度都是参考文献做的,但是基片上一直没有镀上膜。在想会不会是基片预处理的问题。
预处理过程:先用丙酮洗,再用NaOH+双氧水。
各位有没有相关的经验,求教啊!!!
回复此楼

» 本帖@通知

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lianqi_1210

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 巴巴罗萨 at 2014-10-25 22:13:42
基片怎么洗的没有很大关系吧?
会不会是源没有到基片上,确定一下基片托盘的位置有没有膜?腔体内其它地方有没有膜?如果腔体内有些地方有膜而基片上没有,就是反应条件应该没有问题,只是设备原因反应源没有覆盖到 ...

设备应该没问题,别的膜可以镀上去,我的膜做出来是透明的,就算镀在腔体上也看不出来。我的反应温度这些也都是参照文献的。不是说基片要羟基化,源才能有效的吸附在基片上么?
4楼2014-10-26 14:54:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

wbcui

至尊木虫 (知名作家)

楼主
你的设备哪里买的?

你用的什么基片啊?
2楼2014-10-24 15:46:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

巴巴罗萨

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
lianqi_1210: 金币+5, 有帮助 2014-10-26 14:56:04
基片怎么洗的没有很大关系吧?
会不会是源没有到基片上,确定一下基片托盘的位置有没有膜?腔体内其它地方有没有膜?如果腔体内有些地方有膜而基片上没有,就是反应条件应该没有问题,只是设备原因反应源没有覆盖到基片上
如果整个腔体都没有膜,就检查下实验条件的设置有可能有问题了,当然也可能设备有问题而完全不反应生成膜
3楼2014-10-25 22:13:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lianqi_1210

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wbcui at 2014-10-24 15:46:24
楼主
你的设备哪里买的?

你用的什么基片啊?

设备是芬兰的,基片试过硅片和玻片,上面都没有膜。。。
5楼2014-10-26 14:57:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 投票:  有多少人是今天查系统知道结果的? +12 爱看书的可乐 2026-08-26 14/700 2026-08-26 14:50 by coolysnow
[基金申请] 为什么国自然不能直接公布 +4 bjdxyxy 2026-08-26 4/200 2026-08-26 13:12 by qingmu1201
[基金申请] 系统查不到 +9 董八千 2026-08-26 9/450 2026-08-26 12:30 by yanmofang
[基金申请] 科研孤儿太难了 +21 我4大白菜 2026-08-20 22/1100 2026-08-26 11:29 by nlgza
[基金申请] 国际合作可查了,中了面上 +18 Ldrop2023 2026-08-26 18/900 2026-08-26 11:15 by cmrandy
[基金申请] 国合可查了 +3 paperzjh 2026-08-26 3/150 2026-08-26 10:41 by LemmonTr
[基金申请] 牛来!米来!面来! +8 beefly 2026-08-26 8/400 2026-08-26 08:37 by xuzhipiao
[基金申请] 2026年8月25日国自然放榜前突然收到列入评审专家邮件,有关系吗? +24 木水思豆 2026-08-25 27/1350 2026-08-26 08:26 by yanchen918
[基金申请] 在坚冰还盖着北海的时候,我看到了怒放的梅花。 (金币+10) +6 ziyangfang 2026-08-25 9/450 2026-08-25 20:26 by huagongfeihu
[基金申请] 明天应该可查了!? +6 chengyan1220 2026-08-23 6/300 2026-08-25 19:45 by zfd97
[基金申请] 有没有大神帮我看看基金代码 28+4 1234567wang 2026-08-24 10/500 2026-08-25 19:15 by lfy8008
[基金申请] 放榜前的不淡定 20+4 snowwithsea 2026-08-19 19/950 2026-08-25 17:57 by chick875
[基金申请] 某些机构,以效率低为荣,以效率低作为存在感 +9 yuleib84 2026-08-25 10/500 2026-08-25 17:14 by alexon
[基金申请] 今日不放榜?网传国自然预计 8 月 27 日可查结果 +17 医学老男孩 2026-08-20 22/1100 2026-08-25 15:36 by 医学老男孩
[基金申请] 如果此刻你正在为国基感到焦虑,不妨来听听这首《基金之外》 +8 scalable 2026-08-24 8/400 2026-08-25 12:52 by jnhyjjm
[教师之家] 导师吐槽:我怎么摊上了这么个极品研究生! +3 苏东坡二世 2026-08-23 3/150 2026-08-25 10:35 by shisan1313
[基金申请] 我面上完蛋了 +13 且听虎啸 2026-08-20 14/700 2026-08-25 09:10 by mrkang
[基金申请] 建议基金发布提前给出明确的时间点 +13 kulium 2026-08-21 16/800 2026-08-24 16:27 by superceng
[基金申请] 让我中一个面上吧! +13 大萍1987 2026-08-20 16/800 2026-08-24 10:23 by 太傻了
[基金申请] 看来今天不会放榜了? +8 chengyan1220 2026-08-21 11/550 2026-08-21 17:52 by dcqxinyang
信息提示
请填处理意见