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lianqi_1210

铜虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 255
帖子: 39
在线: 33.2小时
虫号: 2213261
注册: 2012-12-29
专业: 应用有机化学

[求助] ALD制备薄膜问题已有1人参与

各位虫友，有没有做ALD的？本人刚刚开始用ALD制备薄膜，源以及制备温度都是参考文献做的，但是基片上一直没有镀上膜。在想会不会是基片预处理的问题。
预处理过程：先用丙酮洗，再用NaOH+双氧水。
各位有没有相关的经验，求教啊！！！

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@yswyx

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1楼 2014-10-24 13:36:12

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

dulong107

金虫 (小有名气)

应助: 35 (小学生)
金币: 480.7
散金: 207
红花: 5
帖子: 286
在线: 25.8小时
虫号: 3530786
注册: 2014-11-11
性别: GG
专业: 半导体材料

内容已删除

6楼2014-11-25 16:29:40

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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