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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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onenodo

木虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射能制备纳米粉末吗 已有3人参与

磁控溅射既然能以原子沉积的方式成膜,我就想请问一下,能不能在此设备上将溅射出来的颗粒直接收集起来,不让它沉积成膜而是得到一些粉末样品?请问这样可行不,有人做过类似的实验吗?谢谢~
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


引用回帖:
4楼: Originally posted by onenodo at 2014-09-25 15:03:01
我们实验室没有等离子体仪,所以就只想在磁控溅射这台机器上试试。那请问具体可以怎么操作收集粉末呢?要自己改装一下仪器吗。。...

将颗粒从靶材上溅射出来后,需要将其温度和速度立即降到常温和零,并立即转移到专门的干燥的收集器中。这样才能获得团聚程度轻的粉末。
6楼2014-09-25 17:16:10
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lanxiaohui

新虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
产量会不会很低,稍微多一点就容易成膜了
2楼2014-09-25 10:12:19
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
onenodo: 金币+7, 有帮助 2014-09-27 14:01:35
理论上是可以的,但其产量太低。相似的方法有等离子体法制备纳米粉末。
3楼2014-09-25 12:52:22
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onenodo

木虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by peterflyer at 2014-09-25 12:52:22
理论上是可以的,但其产量太低。相似的方法有等离子体法制备纳米粉末。

我们实验室没有等离子体仪,所以就只想在磁控溅射这台机器上试试。那请问具体可以怎么操作收集粉末呢?要自己改装一下仪器吗。。
4楼2014-09-25 15:03:01
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