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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 磁控溅射能制备纳米粉末吗
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onenodo

木虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射能制备纳米粉末吗 已有3人参与

磁控溅射既然能以原子沉积的方式成膜，我就想请问一下，能不能在此设备上将溅射出来的颗粒直接收集起来，不让它沉积成膜而是得到一些粉末样品？请问这样可行不，有人做过类似的实验吗？谢谢～
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@yswyx

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1楼 2014-09-25 09:55:39
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onenodo

木虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by peterflyer at 2014-09-25 12:52:22
理论上是可以的，但其产量太低。相似的方法有等离子体法制备纳米粉末。

我们实验室没有等离子体仪，所以就只想在磁控溅射这台机器上试试。那请问具体可以怎么操作收集粉末呢？要自己改装一下仪器吗。。
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4楼2014-09-25 15:03:01
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lanxiaohui

新虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
产量会不会很低，稍微多一点就容易成膜了
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2楼2014-09-25 10:12:19
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
onenodo: 金币+7, ★有帮助 2014-09-27 14:01:35
理论上是可以的，但其产量太低。相似的方法有等离子体法制备纳米粉末。
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3楼2014-09-25 12:52:22
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zhioking

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
onenodo: 金币+3, ★有帮助 2014-09-27 14:01:15
磁控溅射一般得到的是连续的膜，你怎么收集颗粒；就算控制溅射时间很短，也很难从基地上收集。总之，还没听说谁用磁控溅射来制备颗粒。
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5楼2014-09-25 15:27:12
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