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磁控溅射问题 已有2人参与
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| 第一次做直流磁控溅射。关机的时候本来应该先把功率淘到零，然后关闭功率开关，现在是直接把调功率的开关关闭了。也就是直接把加的功率突然将为o了，不知道会不会损坏机器啊 ？求助 |
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zhioking
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2楼2014-09-24 15:40:06
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