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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射问题
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esperance

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射问题 已有2人参与

第一次做直流磁控溅射。关机的时候本来应该先把功率淘到零，然后关闭功率开关，现在是直接把调功率的开关关闭了。也就是直接把加的功率突然将为o了，不知道会不会损坏机器啊 ？求助
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@yswyx

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1楼 2014-09-24 15:12:53
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zhioking

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
一般说来也没啥问题，不过这确实不是规范的操作。
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2楼2014-09-24 15:40:06
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whywhy01

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
偶尔一次问题不大，以后注意就是了
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3楼2014-09-25 12:11:16
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