| 查看: 1743 | 回复: 6 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
ydar123至尊木虫 (职业作家)
|
[求助]
加热对磁控溅射辉光影响 已有4人参与
|
||
| 各位大侠，最近小弟使用磁控溅射设备沉积纯金属膜，在样品台炉温为400度的时候辉光颜色为正常的蓝色辉光，将温度升高到525后，沉积持续一段时间后，辉光逐变为紫色，同时在沉底上沉积不出Ti膜，使用紫色辉光沉积结束后开舱发现靶材表面出现黄色光圈。另外一个奇怪现象就是在靶位对准常温样品台时，无论持续多久辉光颜色都不会发生变化，本人推测原因为会不会是温度升高使得电路丝(电炉丝使用了将近一年半)向真空舱内挥发有害物质。另外一个问题就是本人使用的时候射频电源，发现不同的射频电源在输出相同功率的情况下射频电源对电压和电流有很大的不同。不知道怎么回事？ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 真空镀膜类技术资料 |
» 猜你喜欢
FileCode能看出啥？
已经有23人回复
-
应该是93bebmhtak前后十一个字符比较关键
已经有36人回复
-
关于Filecode分析方法
已经有9人回复
-
2019年青年基金涵评意见，大家看看几个A，几个B?
已经有10人回复
-
不应该看fileCode
已经有6人回复
-
好奇怪的filecode
已经有6人回复
-
长年满屏的广告，版主太不责任了。基金也等的急
已经有4人回复
-
filecode
已经有15人回复
-
职称评审，求友友推荐见刊最快的期刊
已经有4人回复
-
奇怪，两个人的filecode固定段从头到尾一模一样
已经有10人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 镀膜技术-磁控溅射辉光清洗
已经有7人回复
- 磁控溅射底座与腔体短路了 怎么解决
已经有9人回复
- 磁控溅射设备在溅射时压缩空气突然停止导致的故障
已经有7人回复
- 直流磁控溅射电压变大
已经有6人回复
- 磁控溅射TiN的颜色问题
已经有8人回复
- 磁控溅射的分子泵真空抽不上去
已经有23人回复
- 溅射金属靶的辉光颜色问题
已经有7人回复
- 磁控溅射电源问题
已经有11人回复
- 磁控溅射时，氩气流速不同有什么影响？
已经有7人回复
- 磁控溅射靶面以外的地方有辉光正常吗
已经有9人回复
- 关于磁控溅射直流镀锌
已经有25人回复
- [求助]磁控溅射制备SiN，用的是射频电源，有辉光，但溅射不上
已经有11人回复
- 请教磁控溅射的气压和功率对薄膜质量的作用，谢谢！
已经有20人回复
- 求助关于磁控溅射清洗方面的问题~~~急急急
已经有10人回复
- 磁控溅射能起辉，但不能沉积
已经有21人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 是否可以在基底上用磁控溅射Cu、Zn、Al然后加热得到晶化的合金结构？
已经有6人回复
- 【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题
已经有4人回复
- 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题
已经有14人回复
cord 
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 186 (高中生)
- 金币: 8374.9
- 散金: 206
- 红花: 16
- 帖子: 1745
- 在线: 206.7小时
- 虫号: 514399
- 注册: 2008-02-29
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
4楼2014-07-22 20:20:51
cord
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 186 (高中生)
- 金币: 8374.9
- 散金: 206
- 红花: 16
- 帖子: 1745
- 在线: 206.7小时
- 虫号: 514399
- 注册: 2008-02-29
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
2楼2014-07-19 00:52:37
ydar123
至尊木虫 (职业作家)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 21082.4
- 散金: 34
- 红花: 2
- 帖子: 3889
- 在线: 292.5小时
- 虫号: 477336
- 注册: 2007-12-13
- 专业: 化学工程及工业化学
3楼2014-07-22 09:05:35
fuyadong01
禁虫 (小有名气)
★ ★ ★
ydar123(ivansdk代发): 金币+3 2014-10-18 08:09:47
ydar123(ivansdk代发): 金币+3 2014-10-18 08:09:47
|
本帖内容被屏蔽 |
5楼2014-07-24 13:38:42
