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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 加热对磁控溅射辉光影响
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ydar123

至尊木虫 (职业作家)

[求助] 加热对磁控溅射辉光影响 已有4人参与

各位大侠，最近小弟使用磁控溅射设备沉积纯金属膜，在样品台炉温为400度的时候辉光颜色为正常的蓝色辉光，将温度升高到525后，沉积持续一段时间后，辉光逐变为紫色，同时在沉底上沉积不出Ti膜，使用紫色辉光沉积结束后开舱发现靶材表面出现黄色光圈。另外一个奇怪现象就是在靶位对准常温样品台时，无论持续多久辉光颜色都不会发生变化，本人推测原因为会不会是温度升高使得电路丝(电炉丝使用了将近一年半)向真空舱内挥发有害物质。另外一个问题就是本人使用的时候射频电源，发现不同的射频电源在输出相同功率的情况下射频电源对电压和电流有很大的不同。不知道怎么回事？
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1楼 2014-07-18 16:52:23
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ydar123

至尊木虫 (职业作家)
引用回帖:
2楼: Originally posted by cord at 2014-07-19 00:52:37
更换新的加热丝吧， 再这样搞下去，你的靶不要好了。
你这个是内加热方式， 看能不能改成外加热方式，减小高温时丝的挥发。

怎么样改变内加热方式那？
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3楼2014-07-22 09:05:35
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ydar123: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2014-07-22 09:05:50
更换新的加热丝吧， 再这样搞下去，你的靶不要好了。
你这个是内加热方式， 看能不能改成外加热方式，减小高温时丝的挥发。
赞一下 回复此楼
2楼2014-07-19 00:52:37
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

这个需要看到你设备的详细设计情况,才能觉得如何改
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4楼2014-07-22 20:20:51
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fuyadong01

禁虫 (小有名气)
★ ★ ★
ydar123(ivansdk代发): 金币+3 2014-10-18 08:09:47
本帖内容被屏蔽
5楼2014-07-24 13:38:42
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