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汕头大学海洋科学接受调剂
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huanglijing

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[求助] 室温磁控溅射对基底会产生影响吗?

室温磁控溅射对基底会产生影响吗?
如题,在室温条件下,磁控溅射镀膜时,基底上的薄膜是否会受到热能的影响,最好有文献参考。
重金酬谢,不胜感激!!!
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