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chem_liyang

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射有毒靶材的尾气处理 已有1人参与

小弟最近想使用磁控溅射镀膜,所用靶材有略微毒性,想请教各位达人,怎么处理尾气和腔体清洁
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磁控溅射靶材资料大全

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wbcui

至尊木虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
不知道妹子用的什么靶材啊?
2楼2013-11-04 19:49:40
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