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磁控溅射有毒靶材的尾气处理
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chem_liyang
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注册: 2010-11-20
性别:
MM
专业: 能源化工
[交流]
磁控溅射有毒靶材的尾气处理
已有1人参与
小弟最近想使用磁控溅射镀膜,所用靶材有略微毒性,想请教各位达人,怎么处理尾气和腔体清洁
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磁控溅射靶材资料大全
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1楼
2013-11-04 18:08:53
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专业: 金属功能材料
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
不知道妹子用的什么靶材啊?
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2楼
2013-11-04 19:49:40
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