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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » 磁控溅射有毒靶材的尾气处理
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chem_liyang

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射有毒靶材的尾气处理 已有1人参与

小弟最近想使用磁控溅射镀膜，所用靶材有略微毒性，想请教各位达人，怎么处理尾气和腔体清洁
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1楼 2013-11-04 18:08:53
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
不知道妹子用的什么靶材啊?
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2楼2013-11-04 19:49:40
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