| 查看: 2412 | 回复: 4 | ||
| 本帖产生 1 个 博学EPI ，点击这里进行查看 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
risktaker111金虫 (正式写手)
|
[求助]
磁控溅射 偏压 用途
|
|
| 实验用的是沈科仪的磁控溅射设备，电源有2个直流，一个交流，请问偏压电源是什么时候用呢？是在用永磁靶时吗？还是其他的？如何用呢？谢谢。 |
回复此楼» 猜你喜欢
欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律
已经有69人回复
-
有时候，自然基金真的不能太认真 （我的申报经验）
已经有11人回复
-
时间戳又变了8-15
已经有23人回复
-
filecode=后面第一个是大写字母
已经有7人回复
-
filecode
已经有12人回复
-
小木虫上这么多卖论文的，真有人买论文么？感觉没必要啊
已经有13人回复
-
哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜？
已经有7人回复
-
关于Filecode分析方法
已经有13人回复
-
各位道友，我要去昆明玩几天，回来见。
已经有8人回复
-
咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否
已经有22人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 什么叫偏压溅射？如何对基底加偏压？
已经有11人回复
- [求助]磁控溅射制备SiN，用的是射频电源，有辉光，但溅射不上
已经有11人回复
- 【急急急】有用射频磁控溅射硒Se靶的么？
已经有16人回复
- 进行磁控溅射时，如果不用外部加热器，基体温度为多少
已经有19人回复
- 反应磁控溅射自偏压太高是问什么？
已经有5人回复
- 磁控溅射能起辉，但不能沉积
已经有21人回复
- 射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？
已经有5人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 磁控溅射射频功率源的问题
已经有4人回复
- 【求助】射频溅射反射功率过高，不起辉，无自偏压
已经有12人回复
- 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题
已经有14人回复
- 【交流】咨询磁控溅射负偏压问题
已经有5人回复
- 【求助】磁控溅射偏压为什么加不上
已经有12人回复
5楼2013-08-20 14:31:15
wolfghost
版主 (知名作家)
- 博学EPI: 432
- 应助: 101 (高中生)
- 贵宾: 7.987
- 金币: 36637.2
- 散金: 11283
- 红花: 198
- 沙发: 8
- 帖子: 7795
- 在线: 1298.1小时
- 虫号: 573180
- 注册: 2008-06-13
- 性别: GG
- 专业: 电化学
- 管辖: 有奖问答
【答案】应助回帖
|
根据资料介绍：偏压电源的作用 1）提高真空等离子体内带电粒子的能量，轰击清洗所镀工件表面，使工件表面经受高能粒子撞击后得到崭新的表层，从而提高后续沉积膜层的结合力 2）提高并控制真空等离子体内带电粒子的能量，提高膜层与工件基体结合力 3）靠不同的电压输出极性或方式改变沉积规则，调整膜层颜色 4）克服偏压电源工作于真空等离子体环境中，由高电压引起的阴极弧光放电烧伤工件 其工作原理是： 偏压电源工作于二级高频变换模式，单极脉冲方式输出。电源的电压调整通过改变高频变换电路的电源电压来实现，调压电路具有1%的稳率。高频变换电路产生10-90%脉冲电压。由于电源的输出电压与脉冲宽度独立调整，在满足工艺所需电压同时，通过改变脉冲宽度来控工件温升。电源适用于各类工具镀膜及装饰镀膜 。 给一篇使用偏压的文献给楼主进一步参考  链接：https://wenku.baidu.com/view/517b67707fd5360cba1adbd9.html |
2楼2013-03-09 10:47:19
3楼2013-03-09 10:58:42
