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risktaker111金虫 (正式写手)
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[求助]
磁控溅射 偏压 用途
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| 实验用的是沈科仪的磁控溅射设备，电源有2个直流，一个交流，请问偏压电源是什么时候用呢？是在用永磁靶时吗？还是其他的？如何用呢？谢谢。 |
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wolfghost
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【答案】应助回帖
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根据资料介绍：偏压电源的作用 1）提高真空等离子体内带电粒子的能量，轰击清洗所镀工件表面，使工件表面经受高能粒子撞击后得到崭新的表层，从而提高后续沉积膜层的结合力 2）提高并控制真空等离子体内带电粒子的能量，提高膜层与工件基体结合力 3）靠不同的电压输出极性或方式改变沉积规则，调整膜层颜色 4）克服偏压电源工作于真空等离子体环境中，由高电压引起的阴极弧光放电烧伤工件 其工作原理是： 偏压电源工作于二级高频变换模式，单极脉冲方式输出。电源的电压调整通过改变高频变换电路的电源电压来实现，调压电路具有1%的稳率。高频变换电路产生10-90%脉冲电压。由于电源的输出电压与脉冲宽度独立调整，在满足工艺所需电压同时，通过改变脉冲宽度来控工件温升。电源适用于各类工具镀膜及装饰镀膜 。 给一篇使用偏压的文献给楼主进一步参考  链接：https://wenku.baidu.com/view/517b67707fd5360cba1adbd9.html |
2楼2013-03-09 10:47:19
3楼2013-03-09 10:58:42
海上柳
金虫 (正式写手)
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