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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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looor

木虫 (小有名气)

[求助] 射频磁控溅射

你们好,求各位指教!
我现在用的是WYCD-450型的射频磁控溅射做铁氧体材料,功率100W,Ar氛围2Pa靶材厚2mm,直径77-75mm,能起辉就是溅射2小时后,Si片上几乎和没溅射一样,正向功率和反向功率,怎么调都调不到1.5一下,求各位大仙们指教啊!
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安心工作
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净心前行

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

功率100W稍微有些小,可以加到200W试试,因为你的3英寸的靶材,100W的功率密度有些低了。另外,你的靶基距是多少,不要太远了。
3楼2013-01-13 21:08:10
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looor

木虫 (小有名气)

现在试着改变功率和气压,也溅射不上啊!!!
安心工作
2楼2012-11-27 15:48:43
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looor

木虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 净心前行 at 2013-01-13 21:08:10
功率100W稍微有些小,可以加到200W试试,因为你的3英寸的靶材,100W的功率密度有些低了。另外,你的靶基距是多少,不要太远了。

靶基距是10cm左右,可调。现在的问题是靶材溅射5min后就裂开,令我伤心啊
安心工作
4楼2013-03-12 20:16:35
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