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looor木虫 (小有名气)
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[求助]
射频磁控溅射
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你们好，求各位指教！ 我现在用的是WYCD-450型的射频磁控溅射做铁氧体材料，功率100W，Ar氛围2Pa靶材厚2mm，直径77-75mm，能起辉就是溅射2小时后，Si片上几乎和没溅射一样，正向功率和反向功率，怎么调都调不到1.5一下，求各位大仙们指教啊！ |
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3楼2013-01-13 21:08:10
looor
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2楼2012-11-27 15:48:43
looor
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4楼2013-03-12 20:16:35
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