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六月彩空木虫 (小有名气)
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[求助]
工作距离（WD）对电子束刻蚀图形的影响原理是什么？
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| 求助，求助！我初学电子束刻蚀微纳米图形，在用SEM改装的电子束曝光机刻蚀图形时，发现，在其他条件不变的情况下，工作距离越小，刻蚀后表征的图形分辨率提高，这是什么原理呢？恳请各位大虾指点迷津，谢谢！ |
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2楼2012-05-31 20:22:23
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