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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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六月彩空

木虫 (小有名气)

[求助] 工作距离(WD)对电子束刻蚀图形的影响原理是什么?

求助,求助!我初学电子束刻蚀微纳米图形,在用SEM改装的电子束曝光机刻蚀图形时,发现,在其他条件不变的情况下,工作距离越小,刻蚀后表征的图形分辨率提高,这是什么原理呢?恳请各位大虾指点迷津,谢谢!
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自强不息
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haerbin06

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


lchpy: 金币+1, thanks for your information~ 2012-05-31 20:56:13
有一个定义角, 类似透镜, 角度一定,折线的位置靠近透镜,精度自然高.
我很好
2楼2012-05-31 20:22:23
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