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六月彩空木虫 (小有名气)
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[求助]
在哪可以加工铜基微纳米结构
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| 各位大虫，我想加工刻蚀一些铜基微纳米结构，即在紫铜片表面的垂直方向上刻蚀得到圆柱阵列。圆柱截面尺寸介于200-1000nm，相邻柱体距离介于200-1000nm，柱高（即槽深）100nm以上，要求形貌清晰。请问国内有哪些公司或高校接受代加工？除了电子束刻蚀，还有哪些方法可以做？如果将铜片表面涂覆一层石墨之后再制作微纳米结构，上述方法是否还可行？不胜感激！ |
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【答案】应助回帖
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1. 你这个要求好高，要做好花大钱的准备，没个十万八万的，就放弃吧。 2. 是电子束光刻，不是电子束刻蚀，完全是两回事。 3. 高校就别想了，没人愿意找麻烦。研究所也就纳米所可能会接。公司的话，你短信我，不做广告。 4. 你的要求里面还缺非常多的定义，比如垂直度，精度，面积，等等。 5. 1um以下的，可以考虑stepper。也就是说你列出的尺寸，跨越了两种方法，要做取舍。 6. 铜片表面质量你自己是否有手段保证，这可能比微纳加工还麻烦。 7. 涂覆石墨暂时无法评估，需要了解涂覆的方法，目的等。简单想想，会极其困难。这就需要当做项目开发做了，经费需求极大。 |
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六月彩空2楼2013-06-26 23:49:30
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