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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 在哪可以加工铜基微纳米结构
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六月彩空

木虫 (小有名气)

[求助] 在哪可以加工铜基微纳米结构

各位大虫，我想加工刻蚀一些铜基微纳米结构，即在紫铜片表面的垂直方向上刻蚀得到圆柱阵列。圆柱截面尺寸介于200-1000nm，相邻柱体距离介于200-1000nm，柱高（即槽深）100nm以上，要求形貌清晰。请问国内有哪些公司或高校接受代加工？除了电子束刻蚀，还有哪些方法可以做？如果将铜片表面涂覆一层石墨之后再制作微纳米结构，上述方法是否还可行？不胜感激！
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自强不息
1楼 2013-06-24 10:49:48
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六月彩空

木虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-06-26 23:49:30
1. 你这个要求好高，要做好花大钱的准备，没个十万八万的，就放弃吧。
2. 是电子束光刻，不是电子束刻蚀，完全是两回事。
3. 高校就别想了，没人愿意找麻烦。研究所也就纳米所可能会接。公司的话，你短信我，不做 ...

感谢您的回复。
1、我的课题条件具备电子束曝光（Electron Beam Lithography）系统，能够实现微纳米结构的制作；
2、我需要制作不同微纳米尺寸结构用于比较，限于电子束曝光工艺效率低的不足，对于制备较大面积的微纳米结构，因此我需要考虑别的效率高的光刻工艺来实现，如紫外光刻等。不知贵公司是否有这样类似的条件或设备？
3、用于制备微纳米结构的紫铜面积约为1平方英寸；
4、限于知识狭窄，请问stepper指的是哪种设备或是工艺？
5、铜片表面仅是实验室抛光处理；
6、您能够提供更为有效的联系方式么，比如QQ或是办公电话？
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自强不息
5楼2013-06-27 18:20:48
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
1. 你这个要求好高，要做好花大钱的准备，没个十万八万的，就放弃吧。
2. 是电子束光刻，不是电子束刻蚀，完全是两回事。
3. 高校就别想了，没人愿意找麻烦。研究所也就纳米所可能会接。公司的话，你短信我，不做广告。
4. 你的要求里面还缺非常多的定义，比如垂直度，精度，面积，等等。
5. 1um以下的，可以考虑stepper。也就是说你列出的尺寸，跨越了两种方法，要做取舍。
6. 铜片表面质量你自己是否有手段保证，这可能比微纳加工还麻烦。
7. 涂覆石墨暂时无法评估，需要了解涂覆的方法，目的等。简单想想，会极其困难。这就需要当做项目开发做了，经费需求极大。
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六月彩空
2楼2013-06-26 23:49:30
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semi-white

铁杆木虫 (著名写手)

Pay first, then get.

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
做一个掩模板  镀铜 不知道是否可以？
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3楼2013-06-27 10:35:41
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六月彩空

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by semi-white at 2013-06-27 10:35:41
做一个掩模板  镀铜 不知道是否可以？

我这是要在铜基体上做一个掩模版，在再上面沉积薄膜，得到微纳米结构。谢谢！
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自强不息
4楼2013-06-27 18:02:17
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查看全部 8 个回答
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