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六月彩空木虫 (小有名气)
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[求助]
在哪可以加工铜基微纳米结构
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| 各位大虫,我想加工刻蚀一些铜基微纳米结构,即在紫铜片表面的垂直方向上刻蚀得到圆柱阵列。圆柱截面尺寸介于200-1000nm,相邻柱体距离介于200-1000nm,柱高(即槽深)100nm以上,要求形貌清晰。请问国内有哪些公司或高校接受代加工?除了电子束刻蚀,还有哪些方法可以做?如果将铜片表面涂覆一层石墨之后再制作微纳米结构,上述方法是否还可行?不胜感激! |
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wanldcr
木虫 (正式写手)
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6楼2013-10-30 09:03:52













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