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六月彩空

木虫 (小有名气)

[求助] 在哪可以加工铜基微纳米结构

各位大虫,我想加工刻蚀一些铜基微纳米结构,即在紫铜片表面的垂直方向上刻蚀得到圆柱阵列。圆柱截面尺寸介于200-1000nm,相邻柱体距离介于200-1000nm,柱高(即槽深)100nm以上,要求形貌清晰。请问国内有哪些公司或高校接受代加工?除了电子束刻蚀,还有哪些方法可以做?如果将铜片表面涂覆一层石墨之后再制作微纳米结构,上述方法是否还可行?不胜感激!
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自强不息
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wanldcr

木虫 (正式写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 六月彩空 at 2013-06-27 18:20:48
感谢您的回复。
1、我的课题条件具备电子束曝光(Electron Beam Lithography)系统,能够实现微纳米结构的制作;
2、我需要制作不同微纳米尺寸结构用于比较,限于电子束曝光工艺效率低的不足,对于制备较大面积的 ...

让你发站内信问联系方式呢
人在江湖混,遇事要镇定,让子弹再飞一会
6楼2013-10-30 09:03:52
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