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六月彩空

木虫 (小有名气)

应助: 2 (幼儿园)
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[求助] 工作距离（WD）对电子束刻蚀图形的影响原理是什么？

求助，求助！我初学电子束刻蚀微纳米图形，在用SEM改装的电子束曝光机刻蚀图形时，发现，在其他条件不变的情况下，工作距离越小，刻蚀后表征的图形分辨率提高，这是什么原理呢？恳请各位大虾指点迷津，谢谢！

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自强不息

1楼 2012-05-14 20:02:06

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haerbin06

铜虫 (小有名气)

应助: 8 (幼儿园)
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【答案】应助回帖

★
lchpy: 金币+1, thanks for your information~ 2012-05-31 20:56:13

有一个定义角, 类似透镜, 角度一定,折线的位置靠近透镜,精度自然高.

我很好

2楼2012-05-31 20:22:23

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