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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 磁控溅射镀氧化铝
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gcdxxiaona

银虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射镀氧化铝

磁控溅射在玻璃上镀氧化铝薄膜，用中频反应和直流反应镀膜，沉积一个小时玻璃上竟然什么都没镀上，辉光也正常，到底什么原因啊，各位谁做过这方面的给点意见，谢谢！
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九品墨徒

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1楼 2011-07-20 21:06:21
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

bytianping

金虫 (正式写手)
★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
zhangquan8385(金币+2): 鼓励交流讨论 2011-07-22 09:10:33
引用回帖:
Originally posted by gcdxxiaona at 2011-07-21 22:08:58:
想镀氧化铝，结果玻璃上肉眼看上去什么都没有，要是铝的话应该是银白的或发黑的，要是氧化铝低温下是非晶态肯定是不透明的，也可以和原玻璃对比一下

氧化铝薄膜是透明的，而且折射率与玻璃非常接近（1.7左右），因此肉眼看不出来很正常。如果是非晶的话XRD也看不出来。你说的没长上膜来我比较怀疑哦。
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12楼2011-07-21 23:41:24
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cmshi

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
2011年的帖子，2015年回复一下，不知道还有人看得到不。
1、判断是否镀上膜，其实很简单，把玻璃片的一部分遮挡，用夹子，金属片，玻璃片什么的都行，只要不是受热分解的有机物都行，镀膜后再去掉，这样有膜和没膜的地方就形成了一个台阶，用台阶仪一测便知。
2、如果实在厚度太小，或根本没镀上，可以考虑降低氧气流量，或同时通入氩气（最好是在靶材附近），具体配比和压力根据实际设备情况调整。
3、一般情况下，镀氧化物薄膜的压强、偏压和功率都不要太大，否则会造成等离子体放电反应剧烈而导致离子到达基体表面之前就与氧气发生反应，形成大量粉末，而非薄膜。
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31楼2015-02-27 16:43:02
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bytianping

金虫 (正式写手)
★
gcdxxiaona(金币+1):谢谢参与
请问如何判断没镀上呢？
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2楼2011-07-20 21:43:56
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普通回帖

pcsmine

木虫 (著名写手)
★
gcdxxiaona(金币+1):谢谢参与
是不是该用射频啊
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3楼2011-07-20 22:15:28
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九品墨徒

银虫 (正式写手)
★ ★
gcdxxiaona(金币+1):谢谢参与
送鲜花一朵
zhangquan8385(金币+1): 鼓励交流分享 2011-07-22 09:02:20
哈哈哈！我也遇到过此类问题！我镀的是Al膜，射频溅射，刚开始还可以，后来竟然就不行了！！！！我就是不知道怎么回事！直流也不行！但是靶上面有溅射的痕迹！就是基底上什么都没有！
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4楼2011-07-20 22:52:52
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wangjiawei2807

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
看看参数设定对不对
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5楼2011-07-21 07:55:13
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平凡一生

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
我是做low-e玻璃镀膜的，我们没有用Al靶，用的是Zn靶和Si靶，气氛是Ar700sccm，N2 700，功率30-50Kw。中频反应溅射，可以交流一下。
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6楼2011-07-21 12:57:43
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gcdxxiaona

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by 九品墨徒 at 2011-07-20 22:52:52:
哈哈哈！我也遇到过此类问题！我镀的是Al膜，射频溅射，刚开始还可以，后来竟然就不行了！！！！我就是不知道怎么回事！直流也不行！但是靶上面有溅射的痕迹！就是基底上什么都没有！

我也是 ，靶上有溅射过的痕迹，基底什么都没有，那你是怎么解决的呢
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7楼2011-07-21 21:03:21
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gcdxxiaona

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by 平凡一生 at 2011-07-21 12:57:43:
我是做low-e玻璃镀膜的，我们没有用Al靶，用的是Zn靶和Si靶，气氛是Ar700sccm，N2 700，功率30-50Kw。中频反应溅射，可以交流一下。

我用中频反应的，铝靶，Ar：O2=1000：240，功率3600W，什么都没镀上，靶上有溅射痕迹
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8楼2011-07-21 21:06:07
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gcdxxiaona

银虫 (小有名气)
★ ★
zhangquan8385(金币+2): 鼓励交流讨论 2011-07-22 09:11:54
引用回帖:
Originally posted by bytianping at 2011-07-20 21:43:56:
请问如何判断没镀上呢？

想镀氧化铝，结果玻璃上肉眼看上去什么都没有，要是铝的话应该是银白的或发黑的，要是氧化铝低温下是非晶态肯定是不透明的，也可以和原玻璃对比一下
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9楼2011-07-21 21:08:58
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gcdxxiaona

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by wangjiawei2807 at 2011-07-21 07:55:13:
看看参数设定对不对

我们是参考文献的，理论上应该可以的，镀不上氧化铝至少可以镀上铝啊，但是还是什么都没有镀上
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10楼2011-07-21 21:10:21
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九品墨徒

银虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
Originally posted by gcdxxiaona at 2011-07-21 21:03:21:
我也是 ，靶上有溅射过的痕迹，基底什么都没有，那你是怎么解决的呢

还没解决！也在着急！
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11楼2011-07-21 21:17:04
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平凡一生

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
Originally posted by gcdxxiaona at 2011-07-21 21:06:07:
我用中频反应的，铝靶，Ar：O2=1000：240，功率3600W，什么都没镀上，靶上有溅射痕迹

介质膜是透明的，所以肉眼看不到，可以看看玻璃边部，用刀子刮一下，看有没有刻痕，若有刻痕，那证明你的玻璃已经镀上膜了。你也可以将一块玻璃切成两块，其中一块进行镀膜处理，另一块保存好。镀完膜后，断面上的颜色差异，也可用小刀刮一下，没有镀膜的玻璃，小刀什么也刮不下，也没有刻痕。镀上膜的玻璃，小刀会将膜层刮掉，光线经过刻痕反射后，就能被肉眼观测到，希望对你有帮助！
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13楼2011-07-22 09:20:30
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dearhanzi

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
感觉氧气太多，靶中毒了，沉积速率会很低，估计很薄，你用椭便仪来测测看吧。
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14楼2011-08-24 13:55:34
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plums_1

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by gcdxxiaona at 2011-07-21 21:10:21:
我们是参考文献的，理论上应该可以的，镀不上氧化铝至少可以镀上铝啊，但是还是什么都没有镀上

我的也是，做了两个星期去测才发现折射率一点都没变，应该是没镀上，请问各位前辈找到解决的办法了吗？
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15楼2011-12-14 08:39:03
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sunny123

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by gcdxxiaona at 2011-07-21 21:10:21:
我们是参考文献的，理论上应该可以的，镀不上氧化铝至少可以镀上铝啊，但是还是什么都没有镀上

文献上的东西不是全对的
呵呵
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16楼2011-12-14 08:42:30
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alligator666

木虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
9楼: Originally posted by gcdxxiaona at 2011-07-21 21:08:58:
想镀氧化铝，结果玻璃上肉眼看上去什么都没有，要是铝的话应该是银白的或发黑的，要是氧化铝低温下是非晶态肯定是不透明的，也可以和原玻璃对比一下

为啥Al膜可能是发黑的啊
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17楼2012-01-12 09:52:53
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
18楼2012-02-28 21:42:41
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haodong1121

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
501008楼: Originally posted by 九品墨徒 at 2011-07-20 22:52:52:
哈哈哈！我也遇到过此类问题！我镀的是Al膜，射频溅射，刚开始还可以，后来竟然就不行了！！！！我就是不知道怎么回事！直流也不行！但是靶上面有溅射的痕迹！就是基底上什么都没有！

铝膜表面长期不用后会有一层致密氧化膜，氧化物的溅射要难于金属溅射，建议在建设前用砂纸刮一下表面，起初溅射时应等一下，以便去掉氧化膜后才能溅射铝。
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19楼2012-05-01 12:43:40
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Jason

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你要是镀的α-氧化铝
你就要成为大神了
请问你的PVD是哪个公司的啊
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20楼2012-05-01 16:52:22
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Smallpeng

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
什么也没有？？那东西去哪了，是不是肉眼看不出来
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21楼2012-05-18 11:11:58
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chenying365

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
做下台阶啊，氧化铝本身就是透明的，而且如果是玻璃基底的话结合力不好的。也可能是靶中毒，建议将靶材预溅射一会，或者是i减少氧气的流量
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22楼2012-07-01 23:36:40
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cdmagprs3g

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
氧化铝是透明的，镀上也看不出来的。我镀的就是，不过测量透过率，可以发现透过率的变化，我镀的就是
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23楼2012-10-19 20:20:22
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
首先，应该考虑的是纯氧化铝是不导电的，用直流显然是做不了溅射的，其次，如何判断膜是否镀上可以用SEM扫下端面，最后你要检查下做溅射的过程中你的挡板是不是打开了。。
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24楼2012-10-19 21:13:42
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twinsonho

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
1383984楼: Originally posted by dearhanzi at 2011-08-24 13:55:34
感觉氧气太多，靶中毒了，沉积速率会很低，估计很薄，你用椭便仪来测测看吧。

非常同意，我也感觉是氧分压可能太大，靶中毒，沉积速率特别低。
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25楼2013-03-22 20:40:29
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converse盼盼

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我的钨片上镀氧化锆怎么镀了半小时没任何变化呢
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26楼2013-04-09 19:38:16
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Wise331

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by 平凡一生 at 2011-07-21 12:57:43
我是做low-e玻璃镀膜的，我们没有用Al靶，用的是Zn靶和Si靶，气氛是Ar700sccm，N2 700，功率30-50Kw。中频反应溅射，可以交流一下。

你是哪个公司的啊？我是南玻的 ，也是做玻璃low-e镀膜的  我们用的Zn靶其实是ZnAl合金靶，Si也是SiAl合金靶材的……气氛也和你们一样的
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28楼2013-06-17 18:32:05
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仁晓雪

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by 平凡一生 at 2011-07-21 12:57:43
我是做low-e玻璃镀膜的，我们没有用Al靶，用的是Zn靶和Si靶，气氛是Ar700sccm，N2 700，功率30-50Kw。中频反应溅射，可以交流一下。

您好，我想请问您一下，您做的AlN膜是立方的还是六方的？
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29楼2013-06-20 10:08:04
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yanglei839

金虫 (正式写手)
考虑靶中毒吧
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30楼2014-04-23 18:54:30
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cmshi

木虫 (著名写手)
估计楼主现在已经毕业了。
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32楼2015-02-27 16:45:44
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lanyupolo

银虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
请问你镀氧化铝是辉光是什么颜色？
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33楼2015-10-23 16:32:34
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sxchcgg872

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
铝的话辉光是紫色的，你是不是用的沈阳科友的设备
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34楼2015-11-23 13:06:26
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sherlock-p

银虫 (初入文坛)
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引用回帖:
14楼: Originally posted by dearhanzi at 2011-08-24 13:55:34
感觉氧气太多，靶中毒了，沉积速率会很低，估计很薄，你用椭便仪来测测看吧。

靶中毒一般肉眼可以看出来的~
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35楼2015-11-30 21:59:15
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lizi69

新虫 (初入文坛)
★
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铝表面镀铜膜，不去掉表面氧化铝膜，能镀铜膜吗？
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36楼2018-01-06 20:56:46
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converse盼盼27楼
2013-04-10 20:32   回复  
wangkj: 不要纯表 2013-06-18 13:40:58
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