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gcdxxiaona

银虫 (小有名气)


[交流] 磁控溅射镀氧化铝

磁控溅射在玻璃上镀氧化铝薄膜,用中频反应和直流反应镀膜,沉积一个小时玻璃上竟然什么都没镀上,辉光也正常,到底什么原因啊,各位谁做过这方面的给点意见,谢谢!
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bytianping

金虫 (正式写手)


★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
zhangquan8385(金币+2): 鼓励交流讨论 2011-07-22 09:10:33
引用回帖:
Originally posted by gcdxxiaona at 2011-07-21 22:08:58:
想镀氧化铝,结果玻璃上肉眼看上去什么都没有,要是铝的话应该是银白的或发黑的,要是氧化铝低温下是非晶态肯定是不透明的,也可以和原玻璃对比一下

氧化铝薄膜是透明的,而且折射率与玻璃非常接近(1.7左右),因此肉眼看不出来很正常。如果是非晶的话XRD也看不出来。你说的没长上膜来我比较怀疑哦。
12楼2011-07-21 23:41:24
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bytianping

金虫 (正式写手)



gcdxxiaona(金币+1):谢谢参与
请问如何判断没镀上呢?
2楼2011-07-20 21:43:56
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pcsmine

木虫 (著名写手)



gcdxxiaona(金币+1):谢谢参与
是不是该用射频啊
3楼2011-07-20 22:15:28
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九品墨徒

银虫 (正式写手)


★ ★
gcdxxiaona(金币+1):谢谢参与
送鲜花一朵
zhangquan8385(金币+1): 鼓励交流分享 2011-07-22 09:02:20
哈哈哈!我也遇到过此类问题!我镀的是Al膜,射频溅射,刚开始还可以,后来竟然就不行了!!!!我就是不知道怎么回事!直流也不行!但是靶上面有溅射的痕迹!就是基底上什么都没有!
4楼2011-07-20 22:52:52
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