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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 磁控溅射镀氧化铝
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gcdxxiaona

银虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射镀氧化铝

磁控溅射在玻璃上镀氧化铝薄膜，用中频反应和直流反应镀膜，沉积一个小时玻璃上竟然什么都没镀上，辉光也正常，到底什么原因啊，各位谁做过这方面的给点意见，谢谢！
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1楼 2011-07-20 21:06:21
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dearhanzi

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
感觉氧气太多，靶中毒了，沉积速率会很低，估计很薄，你用椭便仪来测测看吧。
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14楼2011-08-24 13:55:34
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