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磁控溅射镀氧化铝
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gcdxxiaona
银虫
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帖子: 82
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虫号: 1121240
[交流]
磁控溅射镀氧化铝
磁控溅射在玻璃上镀氧化铝薄膜,用中频反应和直流反应镀膜,沉积一个小时玻璃上竟然什么都没镀上,辉光也正常,到底什么原因啊,各位谁做过这方面的给点意见,谢谢!
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九品墨徒
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2011-07-20 21:06:21
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金虫
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虫号: 1043205
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
首先,应该考虑的是纯氧化铝是不导电的,用直流显然是做不了溅射的,其次,如何判断膜是否镀上可以用SEM扫下端面,最后你要检查下做溅射的过程中你的挡板是不是打开了。。
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24楼
2012-10-19 21:13:42
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bytianping
金虫
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虫号: 527634
★
gcdxxiaona(金币
+1
):谢谢参与
请问如何判断没镀上呢?
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2楼
2011-07-20 21:43:56
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pcsmine
木虫
(著名写手)
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帖子: 1815
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虫号: 996431
★
gcdxxiaona(金币
+1
):谢谢参与
是不是该用射频啊
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3楼
2011-07-20 22:15:28
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九品墨徒
银虫
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★ ★
gcdxxiaona(金币
+1
):谢谢参与
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zhangquan8385(金币+1): 鼓励交流分享 2011-07-22 09:02:20
哈哈哈!我也遇到过此类问题!我镀的是Al膜,射频溅射,刚开始还可以,后来竟然就不行了!!!!我就是不知道怎么回事!直流也不行!但是靶上面有溅射的痕迹!就是基底上什么都没有!
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4楼
2011-07-20 22:52:52
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