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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 磁控溅射镀氧化铝
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gcdxxiaona

银虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射镀氧化铝

磁控溅射在玻璃上镀氧化铝薄膜，用中频反应和直流反应镀膜，沉积一个小时玻璃上竟然什么都没镀上，辉光也正常，到底什么原因啊，各位谁做过这方面的给点意见，谢谢！
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九品墨徒

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1楼 2011-07-20 21:06:21
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gcdxxiaona

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by 平凡一生 at 2011-07-21 12:57:43:
我是做low-e玻璃镀膜的，我们没有用Al靶，用的是Zn靶和Si靶，气氛是Ar700sccm，N2 700，功率30-50Kw。中频反应溅射，可以交流一下。

我用中频反应的，铝靶，Ar：O2=1000：240，功率3600W，什么都没镀上，靶上有溅射痕迹
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8楼2011-07-21 21:06:07
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bytianping

金虫 (正式写手)
★
gcdxxiaona(金币+1):谢谢参与
请问如何判断没镀上呢？
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2楼2011-07-20 21:43:56
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pcsmine

木虫 (著名写手)
★
gcdxxiaona(金币+1):谢谢参与
是不是该用射频啊
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2011-07-20 22:15:28
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九品墨徒

银虫 (正式写手)
★ ★
gcdxxiaona(金币+1):谢谢参与
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zhangquan8385(金币+1): 鼓励交流分享 2011-07-22 09:02:20
哈哈哈！我也遇到过此类问题！我镀的是Al膜，射频溅射，刚开始还可以，后来竟然就不行了！！！！我就是不知道怎么回事！直流也不行！但是靶上面有溅射的痕迹！就是基底上什么都没有！
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4楼2011-07-20 22:52:52
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