24小时热门版块排行榜

返回列表

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

gcdxxiaona

银虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 1148.2
帖子: 82
在线: 48.6小时
虫号: 1121240

[交流] 磁控溅射镀氧化铝

磁控溅射在玻璃上镀氧化铝薄膜，用中频反应和直流反应镀膜，沉积一个小时玻璃上竟然什么都没镀上，辉光也正常，到底什么原因啊，各位谁做过这方面的给点意见，谢谢！

回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

九品墨徒

» 猜你喜欢

表哥与省会女结婚，父母去帮带孩子被省会女气回家生重病了已经有12人回复
依托企业入选了国家启明计划青年人才。有无高校可以引进的。已经有14人回复
江汉大学解明教授课题组招博士研究生/博士后已经有3人回复
AI 太可怕了，写基金时，提出想法，直接生成的文字比自己想得深远，还有科学性已经有11人回复
依托企业入选了国家启明计划青年人才。有无高校可以引进的。已经有11人回复

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？已经有5人回复
磁控溅射做薄膜失败了吗已经有21人回复
磁控溅射镀ZnO，大家真空度一般抽到多少？已经有18人回复
求助：磁控溅射镀金属膜，镀不上去已经有4人回复
磁控溅射与反应磁控溅射已经有18人回复
直流磁控溅射镀膜总是被氧化已经有42人回复
我用磁控溅射镀的硼膜，是这个样子的，请问高手们是什么原因，该怎么办？已经有9人回复
电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？已经有17人回复
【求助】物理气相沉淀（PVD）求助。已经有17人回复
【求助】磁控溅射 ZnO镀膜已经有16人回复
【交流】请问用磁控溅射镀Ag膜时怎样留下出一条台阶以方便后面用台阶仪测其厚度呢？已经有26人回复
【求助】哪位大侠帮我看看掺铝氧化锌的XRD图谱已经有12人回复

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴

1楼 2011-07-20 21:06:21

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

cmshi

木虫 (著名写手)

应助: 9 (幼儿园)
金币: 5134.2
帖子: 1324
在线: 303小时
虫号: 782258

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

2011年的帖子，2015年回复一下，不知道还有人看得到不。
1、判断是否镀上膜，其实很简单，把玻璃片的一部分遮挡，用夹子，金属片，玻璃片什么的都行，只要不是受热分解的有机物都行，镀膜后再去掉，这样有膜和没膜的地方就形成了一个台阶，用台阶仪一测便知。
2、如果实在厚度太小，或根本没镀上，可以考虑降低氧气流量，或同时通入氩气（最好是在靶材附近），具体配比和压力根据实际设备情况调整。
3、一般情况下，镀氧化物薄膜的压强、偏压和功率都不要太大，否则会造成等离子体放电反应剧烈而导致离子到达基体表面之前就与氧气发生反应，形成大量粉末，而非薄膜。