溅射什么薄膜

溅射可以，没靶材

镀倒是能镀上，但本身ZnO薄膜接近透明不好观察，而且管的形状导致沉积没法均匀。受限于磁控设备，我也没什么办法调整。不过气敏性能还是能出来

不知道楼主最近有没有比较好的解决方案，能否请教一下