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M_Y_Yang

新虫 (小有名气)

[交流] 陶瓷管镀膜交流 已有4人参与

我是做气敏传感器方向的，请问有没有使用过磁控溅射给陶瓷管传感区溅射一层致密并且均匀的薄膜。
能相互探讨一下吗？
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Tutu11223

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1楼 2021-07-14 20:06:19
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peterTT

禁虫 (著名写手)
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2楼2021-07-14 21:26:55
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997174715

禁虫 (正式写手)
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3楼2021-07-14 22:53:57
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M_Y_Yang

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterTT at 2021-07-14 21:26:55
溅射什么薄膜

磁控溅射ZnO薄膜
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4楼2021-07-15 12:08:54
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peterTT

禁虫 (著名写手)
本帖内容被屏蔽
5楼2021-07-15 14:46:55
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chen6798489

禁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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6楼2021-09-24 18:48:10
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Tutu11223

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
镀倒是能镀上，但本身ZnO薄膜接近透明不好观察，而且管的形状导致沉积没法均匀。受限于磁控设备，我也没什么办法调整。不过气敏性能还是能出来
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7楼2021-10-18 15:47:51
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Tutu11223

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
送红花一朵
不知道楼主最近有没有比较好的解决方案，能否请教一下
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8楼2021-10-18 15:51:03
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