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SIC上OX厚度TEM比SEM 高100埃

作者 xgbing-
来源: 小木虫 150 3 举报帖子
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SIC被氧化成SIO2, 量测SIO2厚度(大概200-300埃)TEM比SEM厚100埃左右,为什么,到底以哪个为准

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