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NR7 1500光刻胶显影后有白边

作者 klxdzh
来源: 小木虫 700 14 举报帖子
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我使用的是NR7 1500PY负胶,掩模版上的沟道是5um,曝光7秒(显示光强19.2mw/cm2),显影10秒,但是显影完图形边缘存在白边,这是因为显影不充分吗 返回小木虫查看更多

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  • 精华评论
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  • 匠成舆

    是不是倒梯形的边,如果是的话就正常,倒梯形侧壁往里切,上面的边沿比较薄可能会显的亮一点,

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    已经倒梯形了,你要想边缘垂直的话减少点曝光时间,你这是接触式曝光吧

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