我使用的是NR7 1500PY负胶,掩模版上的沟道是5um,曝光7秒(显示光强19.2mw/cm2),显影10秒,但是显影完图形边缘存在白边,这是因为显影不充分吗 返回小木虫查看更多
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是不是倒梯形的边,如果是的话就正常,倒梯形侧壁往里切,上面的边沿比较薄可能会显的亮一点,
up
已经倒梯形了,你要想边缘垂直的话减少点曝光时间,你这是接触式曝光吧
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是不是倒梯形的边,如果是的话就正常,倒梯形侧壁往里切,上面的边沿比较薄可能会显的亮一点,
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已经倒梯形了,你要想边缘垂直的话减少点曝光时间,你这是接触式曝光吧
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