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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » NR7 1500光刻胶显影后有白边
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klxdzh

铜虫 (小有名气)

[交流] NR7 1500光刻胶显影后有白边

我使用的是ＮＲ７　１５００PY负胶，掩模版上的沟道是５ｕｍ,曝光7秒（显示光强19.2mw/cm2)，显影10秒，但是显影完图形边缘存在白边，这是因为显影不充分吗
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1楼 2021-07-10 15:27:37
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klxdzh

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by babyoflion at 2021-07-10 18:09:49
上图

像这种
NR7 1500光刻胶显影后有白边



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6楼2021-07-11 14:33:40
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babyoflion

金虫 (著名写手)
★
klxdzh(金币+1): 谢谢参与
上图

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5楼2021-07-10 18:09:49
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klxdzh

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by babyoflion at 2021-07-10 18:09:49
上图

之前在网页上死活不能上传图片

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7楼2021-07-11 14:34:16
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babyoflion

金虫 (著名写手)
可以增加点显影

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8楼2021-07-11 15:25:31
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匠成舆

木虫 (小有名气)
★
klxdzh(金币+1): 谢谢参与
是不是倒梯形的边，如果是的话就正常，倒梯形侧壁往里切，上面的边沿比较薄可能会显的亮一点。
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12楼2022-08-15 20:59:06
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gyxzby

铜虫 (小有名气)
★
klxdzh(金币+1): 谢谢参与
已经倒梯形了，你要想边缘垂直的话减少点曝光时间，你这是接触式曝光吧
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14楼2022-09-05 16:07:47
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tzynew2楼
2021-07-10 15:27   回复  
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brianoliver3楼
2021-07-10 15:33   回复  
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xiaoqiuqiu204楼
2021-07-10 16:39   回复  
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bjdxyxy9楼
2021-07-11 18:42   回复  
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nono200910楼
2021-12-25 14:36   回复  
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雅虎跌11楼
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ff陈15楼
2022-10-04 14:43   回复  
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