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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » NR7 1500光刻胶显影后有白边
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klxdzh

铜虫 (初入文坛)

[交流] NR7 1500光刻胶显影后有白边

我使用的是ＮＲ７　１５００PY负胶，掩模版上的沟道是５ｕｍ,曝光7秒（显示光强19.2mw/cm2)，显影10秒，但是显影完图形边缘存在白边，这是因为显影不充分吗
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1楼2021-07-10 15:27:37
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gyxzby

铜虫 (小有名气)
★
klxdzh(金币+1): 谢谢参与
已经倒梯形了，你要想边缘垂直的话减少点曝光时间，你这是接触式曝光吧
赞一下 回复此楼
14楼2022-09-05 16:07:47
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babyoflion

金虫 (著名写手)
★
klxdzh(金币+1): 谢谢参与
上图

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5楼2021-07-10 18:09:49
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klxdzh

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by babyoflion at 2021-07-10 18:09:49
上图

像这种
NR7 1500光刻胶显影后有白边



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赞一下(1人) 回复此楼
6楼2021-07-11 14:33:40
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klxdzh

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by babyoflion at 2021-07-10 18:09:49
上图

之前在网页上死活不能上传图片

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7楼2021-07-11 14:34:16
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tzynew2楼
2021-07-10 15:27   回复  
klxdzh(金币+1): 谢谢参与
o 发自小木虫Android客户端
XG-WUST13楼
2022-08-16 22:52   回复  
klxdzh(金币+1): 谢谢参与
up 发自小木虫IOS客户端
brianoliver3楼
2021-07-10 15:33   回复  
klxdzh(金币+1): 谢谢参与
。 发自小木虫Android客户端
bjdxyxy9楼
2021-07-11 18:42   回复  
klxdzh(金币+1): 谢谢参与
。 发自小木虫Android客户端
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