磁控溅射样品台旋转后成分偏差较大
如题，当样品台不旋转时，单面涂层与靶材成分相近，误差小；当样品台旋转时，涂层与靶材成分差距较大，如使用NiCrAl靶材，样品涂层上就会出现Al含量较少的情况
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这个现象还是第一次听说
靶材成分与薄膜成分会有偏差，合金靶材中不同的元素溅射效率不同
并不能解释，基片运动与否的差异
，
。