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[交流]
磁控溅射样品台旋转后成分偏差较大
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如题，当样品台不旋转时，单面涂层与靶材成分相近，误差小；当样品台旋转时，涂层与靶材成分差距较大，如使用NiCrAl靶材，样品涂层上就会出现Al含量较少的情况 发自小木虫Android客户端 |
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简单回复
bjdxyxy5楼
2021-07-12 13:19
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许州问烟宇(金币+1): 谢谢参与
。 发自小木虫Android客户端