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[交流]
磁控溅射样品台旋转后成分偏差较大
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如题,当样品台不旋转时,单面涂层与靶材成分相近,误差小;当样品台旋转时,涂层与靶材成分差距较大,如使用NiCrAl靶材,样品涂层上就会出现Al含量较少的情况 发自小木虫Android客户端 |
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3楼2021-07-12 12:05:19
2楼2021-07-12 10:23:07
4楼2021-07-12 12:53:26
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bjdxyxy5楼
2021-07-12 13:19
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许州问烟宇(金币+1): 谢谢参与
。 发自小木虫Android客户端










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