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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 成型与控制 » 磁控溅射样品台旋转后成分偏差较大
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许州问烟宇

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射样品台旋转后成分偏差较大

如题，当样品台不旋转时，单面涂层与靶材成分相近，误差小；当样品台旋转时，涂层与靶材成分差距较大，如使用NiCrAl靶材，样品涂层上就会出现Al含量较少的情况

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1楼 2021-07-06 19:55:10
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sciencetechn

新虫 (小有名气)
★
许州问烟宇(金币+1): 谢谢参与
靶材成分与薄膜成分会有偏差，合金靶材中不同的元素溅射效率不同
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3楼2021-07-12 12:05:19
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
★
许州问烟宇(金币+1): 谢谢参与
这个现象还是第一次听说
赞一下 回复此楼
2楼2021-07-12 10:23:07
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by sciencetechn at 2021-07-12 05:05:19
靶材成分与薄膜成分会有偏差，合金靶材中不同的元素溅射效率不同

并不能解释，基片运动与否的差异
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4楼2021-07-12 12:53:26
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bjdxyxy5楼
2021-07-12 13:19   回复  
许州问烟宇(金币+1): 谢谢参与
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