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磁控溅射样品台旋转后成分偏差较大
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许州问烟宇
新虫
(初入文坛)
应助: 0
(幼儿园)
金币: 23.3
帖子: 9
在线: 13.5小时
虫号: 5679991
[交流]
磁控溅射样品台旋转后成分偏差较大
如题,当样品台不旋转时,单面涂层与靶材成分相近,误差小;当样品台旋转时,涂层与靶材成分差距较大,如使用NiCrAl靶材,样品涂层上就会出现Al含量较少的情况
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1楼
2021-07-06 19:55:10
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野人禾禾
金虫
(正式写手)
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金币: 1285
帖子: 317
在线: 374.5小时
虫号: 1370716
★
许州问烟宇(金币+1): 谢谢参与
这个现象还是第一次听说
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2楼
2021-07-12 10:23:07
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sciencetechn
新虫
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虫号: 4044840
★
许州问烟宇(金币+1): 谢谢参与
靶材成分与薄膜成分会有偏差,合金靶材中不同的元素溅射效率不同
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3楼
2021-07-12 12:05:19
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野人禾禾
金虫
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虫号: 1370716
引用回帖:
3楼
:
Originally posted by
sciencetechn
at 2021-07-12 05:05:19
靶材成分与薄膜成分会有偏差,合金靶材中不同的元素溅射效率不同
并不能解释,基片运动与否的差异
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4楼
2021-07-12 12:53:26
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bjdxyxy
5楼
2021-07-12 13:19
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许州问烟宇(金币+1): 谢谢参与
。
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