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许州问烟宇

新虫 (初入文坛)


[交流] 磁控溅射样品台旋转后成分偏差较大

如题,当样品台不旋转时,单面涂层与靶材成分相近,误差小;当样品台旋转时,涂层与靶材成分差距较大,如使用NiCrAl靶材,样品涂层上就会出现Al含量较少的情况

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野人禾禾

金虫 (正式写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by sciencetechn at 2021-07-12 05:05:19
靶材成分与薄膜成分会有偏差,合金靶材中不同的元素溅射效率不同

并不能解释,基片运动与否的差异
4楼2021-07-12 12:53:26
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查看全部 5 个回答

野人禾禾

金虫 (正式写手)



许州问烟宇(金币+1): 谢谢参与
这个现象还是第一次听说
2楼2021-07-12 10:23:07
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sciencetechn

新虫 (小有名气)



许州问烟宇(金币+1): 谢谢参与
靶材成分与薄膜成分会有偏差,合金靶材中不同的元素溅射效率不同
3楼2021-07-12 12:05:19
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bjdxyxy5楼
2021-07-12 13:19   回复  
许州问烟宇(金币+1): 谢谢参与
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