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小硅片(3*3mm)匀胶问题

作者 jade_yang
来源: 小木虫 500 10 举报帖子
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做芯片片上电极,因此用的流片后的芯片规格很小(3mm*3mm)。现在是将小硅片粘在大的片子上进行匀胶。但是总出现不均匀,或者根本甩不上胶的问题。
我现在的设置是,2英寸的硅片,在圆心、二分之一半径、半径的三个位置粘贴小硅片进行试验,但都不太理想,求各位前辈指教

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  • 精华评论
  • babyoflion

    常规思路是做完后裂片,要不然你这个工艺很难,因为表面很容易就被污染了

  • jade_yang

    试了一下拼接,中间是要匀的片子,还是容易跑掉

  • babyoflion

    这不止3MM吧

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