纳米压痕仪 KLA G200-2
主要技术指标:
1、标准配置
载荷分辨率:50nN
最大压痕或划痕载荷:>500mN
位移分辨率:0.01nm
最大压痕或划痕深度:>500μm
仪器框架刚度:≥5x106N/m
压头更换所需时间: ≤60s
2、连续刚度测量
简谐力频率: 1~300 Hz
简谐力振幅: 0.1 uN~4.5 Mn
3、纳米力学显微镜
X & Y 扫描范围: 100μm
X & Y 分辨率: 2nm
Z 扫描范围: 500μm (for XP head); 15μm (for DCM head)
Z 方向分辨率:0.01nm
X,Y&Z 三个方向均有位移传感器和闭环控制(反馈电路控制)
功能及应用范围
一、标准配置
1、准静态纳米压痕测试,可以获得:载荷、压痕深度、时间、硬度、弹
性模量、断裂韧性、蠕变测量;
2、划痕测试:表面形貌仪(台阶仪功能)、薄膜与基底的临界附着力等;
二、连续刚度测量(动态测试)
1、压入过程中实时显示硬度曲线、弹性模量曲线、加载曲线、接触刚度曲线、接触面积曲线等
2、硬度-压痕深度连续曲线;
3、弹性模量-压痕深度连续曲线;
4、接触刚度-压痕深度连续曲线;
5、压痕载荷-压痕深度连续曲线
6、压入深度-时间曲线(蠕变测量)
7、蠕变特性(蠕变应力指数)
8、贮存模量,损耗模量,阻尼
三、纳米力学显微镜
1、 原位扫描成象;
2、 超高精度定位压痕实验(定位精度在几个nm)
测试周期:1~3天,来样即测!
有意请联系我!!!

纳米压痕.jpg
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测试请联系赵卓老师,15142221237
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