[交流] 纳米压痕仪 KLA G200-2 已有7人参与

主要技术指标：        1、标准配置 载荷分辨率：50nN 最大压痕或划痕载荷：>500mN 位移分辨率：0.01nm 最大压痕或划痕深度：>500μm 仪器框架刚度：≥5x106N/m 压头更换所需时间: ≤60s 2、连续刚度测量 简谐力频率: 1～300 Hz 简谐力振幅： 0.1 uN～4.5 Mn 3、纳米力学显微镜 X & Y 扫描范围： 100μm X & Y 分辨率: 2nm Z 扫描范围: 500μm (for XP head); 15μm (for DCM head) Z 方向分辨率：0.01nm X,Y&Z 三个方向均有位移传感器和闭环控制（反馈电路控制） 功能及应用范围 一、标准配置 1、准静态纳米压痕测试，可以获得：载荷、压痕深度、时间、硬度、弹 性模量、断裂韧性、蠕变测量； 2、划痕测试：表面形貌仪（台阶仪功能）、薄膜与基底的临界附着力等； 二、连续刚度测量(动态测试) 1、压入过程中实时显示硬度曲线、弹性模量曲线、加载曲线、接触刚度曲线、接触面积曲线等 2、硬度－压痕深度连续曲线； 3、弹性模量－压痕深度连续曲线； 4、接触刚度－压痕深度连续曲线； 5、压痕载荷－压痕深度连续曲线 6、压入深度－时间曲线（蠕变测量） 7、蠕变特性（蠕变应力指数） 8、贮存模量，损耗模量，阻尼 三、纳米力学显微镜 1、        原位扫描成象； 2、        超高精度定位压痕实验（定位精度在几个nm） 测试周期：1~3天，来样即测！ 有意请联系我！！！ 纳米压痕.jpg

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