台阶仪测量膜厚
我在测试的时候发现，在针扫过的位置会留一道比较明显的划痕，此时针尖压力已经调到最小了，而且针没有损坏，在标定的时候厚度在合理范围内，请问这是为什么？有什么解决办法？
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膜附着力太差了？以前有用过台阶仪，没关注过这个问题。知道大概厚度了，用椭偏仪测吧，无损的；做到硅片上，白光干涉仪也可以测。瞎说的，有更专业的回复更好
，
薄膜厚度不均匀以及薄膜成膜性不太好，测试的时候会有这种情况吗？