请问光刻工艺中超薄胶技术是什么？哪位大佬给介绍一下，谢谢 返回小木虫查看更多
啥超薄胶技术
表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。
在满足掩膜厚度的情况下，光刻胶越薄光刻工艺窗口越大。
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啥超薄胶技术
表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。
您说的这是常规的光刻步骤，我问得是 什么是超薄胶工艺
，
超薄的光刻胶工艺
在满足掩膜厚度的情况下，光刻胶越薄光刻工艺窗口越大。
请问为什么