【答案】应助回帖

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无机化学论文润色/翻译怎么收费? 已经有293人回复

1楼2021-03-14 11:15:16

babyoflion

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啥超薄胶技术

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2楼2021-03-14 11:59:38

13813921817

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【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。

3楼2021-03-15 09:29:10

13536562

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3楼: Originally posted by 13813921817 at 2021-03-15 09:29:10
表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。

您说的这是常规的光刻步骤，我问得是什么是超薄胶工艺

4楼2021-03-15 10:50:20

13536562

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2楼: Originally posted by babyoflion at 2021-03-14 11:59:38
啥超薄胶技术

超薄的光刻胶工艺

5楼2021-03-15 10:50:36

bobo201266

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在满足掩膜厚度的情况下，光刻胶越薄光刻工艺窗口越大。

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6楼2021-03-18 08:56:54

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6楼: Originally posted by bobo201266 at 2021-03-18 08:56:54
在满足掩膜厚度的情况下，光刻胶越薄光刻工艺窗口越大。

请问为什么

7楼2021-03-21 21:37:48