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13536562

新虫 (小有名气)

[求助] 请问光刻工艺中超薄胶技术是什么?哪位大佬给介绍一下 已有1人参与

请问光刻工艺中超薄胶技术是什么?哪位大佬给介绍一下,谢谢
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13536562

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 13813921817 at 2021-03-15 09:29:10
表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。

您说的这是常规的光刻步骤,我问得是 什么是超薄胶工艺
4楼2021-03-15 10:50:20
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babyoflion

金虫 (著名写手)

2楼2021-03-14 11:59:38
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13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水,利万物而不争


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。
3楼2021-03-15 09:29:10
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13536562

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2021-03-14 11:59:38
啥超薄胶技术

超薄的光刻胶工艺
5楼2021-03-15 10:50:36
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