当前位置: 首页 > 材料 >电子束光刻显影不成功

电子束光刻显影不成功

作者 老农木
来源: 小木虫 250 5 举报帖子
+关注

求助一下,我做电子束光刻器件,光刻胶用PMMA,因为材料是机械剥离的光刻完会出现开裂,现在把显影液换成纯IPA,做曝光剂量测试时器件总是有一部分显影不出来,有虫虫遇到过这个问题吗

 返回小木虫查看更多

今日热帖
  • 精华评论
猜你喜欢
下载小木虫APP
与700万科研达人随时交流
  • 二维码
  • IOS
  • 安卓