求助一下,我做电子束光刻器件,光刻胶用PMMA,因为材料是机械剥离的光刻完会出现开裂,现在把显影液换成纯IPA,做曝光剂量测试时器件总是有一部分显影不出来,有虫虫遇到过这个问题吗 返回小木虫查看更多
加速电压?线条宽度?曝光计量?
建议可以试一下MIBK ,
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