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问题1：厚度较厚，滴胶不均匀或者胶中有杂质都有可能造成。
问题2：从65度放上去，等到95度拿出。不过一般光刻胶前烘都是恒定温度和时间的，你这种方式比较少见。
问题3：这个去问光刻胶厂家。
问题4：结合问题1你先确认下胶有没有问题，而且光刻胶中间有气泡的话肯定一加热就裂了。
问题5：70um只被曝掉10um的话，应该是曝光时间不够，基底衍射一般会残留一些，但你这残留的也太多了。

先检查下胶吧，确定没问题再一步步改善，多咨询光刻胶厂家，厂家一般会有固定参数，